按照我们目前国家的技术,造一台全球先进的光刻机需要多少年?

发布时间:2020年10月06日 阅读:237 次

我国目前的光刻机水平如何我国目前光刻机的最高水平是上海微电子生产制造的的90nm光刻机,而世界顶尖的光刻机是ASML生产的7nm甚至是5nm EUV光刻机。相对来说,我国在光刻机制造领域与国际先进水平还有很大差距,高端光刻机几乎全部依赖进口。据国内媒体报道的消息,上海微电子预计将

我国目前的光刻机水平如何

我国目前光刻机的最高水平是上海微电子生产制造的的90nm光刻机,而世界顶尖的光刻机是ASML生产的7nm甚至是5nm EUV光刻机。相对来说,我国在光刻机制造领域与国际先进水平还有很大差距,高端光刻机几乎全部依赖进口。据国内媒体报道的消息,上海微电子预计将在2021年交付首台28nm的光刻机,差距正在逐渐缩小,上海微电子也正在全力追赶,这种顶尖光刻机的研发需要长期的技术积累,才能实现突破,绝不是一蹴而就。

顶级光刻机

世界上最先进的光刻机是EUV光刻机,只有荷兰的ASML能够生产,光刻机的技术门槛极高,可以说是人类智慧集大成的产物。

荷兰AMSL拥有6000多名科技人员,90%的关键设备均自外来,德国的光学设备和超精密仪器,以及其它核心配件,还有美国的计量设备和光源设备,而ASML要做好的就是精确控制。将误差分担到光刻机的13个分系统,3万多个分件,换句话说,如果德国的蔡司镜头做的不准,美国的Cymer光源不精确,ASML瞬间失去了精神,ASML要做的就是,用好这些家伙,使其更加精确。

荷兰ASML也不差钱,台积电、三星、intel、海力士等这些赫赫有名的半导体巨头,都是荷兰ASML的股东。荷兰ASML有一个不成文的规定“只有合作伙伴才能获得优先供货权”,因此,荷兰ASML每年只能上产十几台EUV光刻机,这些光刻机大部分被“合作伙伴”抢走了。

光刻机究竟有多难

国内目前做光刻机比较好的就是上海微电子设备装备有限公司,它目前水平在90nm,而今年预计会能够突破到28nm水平。再来看光刻机巨头荷兰ASML,早几年它做的EUV光刻机就可以生产7nm工艺芯片,现在台积电用它的机器都能生产5nm工艺芯片。

ASML自己能够做出顶尖光刻机?其实并不是它自己努力,一个顶尖光刻机需要数十万个顶尖部件,需要来自全球几千个供应商提供各种相应的技术支持。而ASML在这些顶尖技术和部件之上进行相应的整合,才有了现在顶尖的EUV光刻机。

就以这个镜头为例来说,德国蔡司公司是荷兰ASML的大股东之一,它给ASML公司提供顶尖镜头用于光刻机的生产。蔡司的技术得到了几十年甚至可以说百年的沉淀,才有如此顶尖的镜头水平,当然这是对我们不出售的。

光刻机最为人类智慧集大成的产业,究竟难在哪里

作为人类工业以及制造业上面的一颗明珠,光刻机可以说是人类智慧的集大成的产业,还有的人说光刻机是外星科技的产物,其实这个就有点过度了,光刻机依旧是人类长期的积累而出来的。

曾经有国内的科研团队去荷兰ASML公司考察,当时的负责人说,我们即便是将图纸给你们拿出来,你们也不一定能够做出来的,虽然说这句话,说的有一些不切实际,但是制造光刻机的事情,从来都不是简单的事情。

有很多人好奇说光刻机的售价是多少,其实目前一台先进的光刻机售价最低也在7000万美金之间,而且能够生产的数量是非常至少的,可能全球也仅仅只有个别的企业能够进行生产的,荷兰ASML公司所生产的光刻机,能够达到7nm支持的工艺制程,而中国的上海微电子能够生产的芯片,目前还都是90nm支持的芯片,这其中的差距,保守估计也有将近15年的差距。

来自各个不同国家的先进技术,大家不要以为所光刻机只是荷兰ASML公司能够生产出来的芯片,这里面最重要的就是来自美国的光源,德国的蔡司镜头,瑞士的轴承等,可以说荷兰ASML公司将这些更加精密的仪器完美的组合在一起。

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